某半导体企业臭氧气体输送系统

德国BMT臭氧检测仪与J5000检测对比3S-J5000臭氧检测仪与德国BMT臭氧检测仪检测对比，串联臭氧浓度基本一致。

臭氧实验用配套臭氧检测仪臭氧实验用臭氧发生器臭氧浓度大多不超过100mg/L，因此推荐臭氧检测仪量程为0-100mg/L，如果臭氧浓度超过100mg/L，检测仪

水处理用臭氧发生器配套臭氧检测仪常规臭氧发生器产生的臭氧浓度范围在140mg/L以内，因此配套该一体式臭氧发生器的臭氧检测仪量程推荐是0-200mg/L。

高量程臭氧检测仪测试现场ALD用臭氧发生器产生臭氧浓度可达300mg/L，因为推荐该配套臭氧检测仪量程为0-300mg/L。